Stofdeeltjes hebben over het algemeen een onregelmatige vorm. Onder de grootte van een stofdeeltje verstaat men de grootste lengte van de projectie van dat deeltje. De diameter van een stofdeeltje benadert men met de equivalente diameter: de diameter die het stofdeeltje zou hebben als men het in de vorm van een bolletje zou kneden. Stofdeeltjes in de lucht en in vloeistoffen meet men met een optische deeltjesteller. Hierbij stroomt lucht of een vloeistof met een vooraf ingestelde snelheid en volume langs een optische meetcel. Men kan kanalen instellen van verschillende groottes.

Gangbare meetinstrumenten zijn:

• Microscoop

• Particle Guard

• Particle Finder

• Deeltjestellers (airborne particle counter, remote particle counter, handheld particle counter, liquid particle counter)

• Oppervlakte-deeltjesteller

• Particle fall out meter

• Deeltjesdepositiemeter